蓋世汽車(chē)訊 據(jù)外媒報(bào)道，KLA Corporation宣布推出四款用于汽車(chē)芯片制造的新產(chǎn)品：8935高生產(chǎn)率圖案化晶圓檢測(cè)系統(tǒng)、C205寬帶等離子圖案化晶圓檢測(cè)系統(tǒng)、Surfscan? SP A2/A3非圖案化晶圓檢測(cè)系統(tǒng)和I-PAT?在線(xiàn)缺陷部件平均測(cè)試篩選解決方案。汽車(chē)行業(yè)一直專(zhuān)注于電氣化、互聯(lián)性、高級(jí)駕駛輔助和自動(dòng)駕駛方面的創(chuàng)新，因此汽車(chē)會(huì)需要更多的電子設(shè)備，從而推動(dòng)行業(yè)對(duì)半導(dǎo)體芯片的需求。由于芯片是車(chē)輛操作和安全應(yīng)用的核心，其可靠性至關(guān)重要，因此汽車(chē)芯片必須符合嚴(yán)格的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。

（圖片來(lái)源：KLA）

KLA半導(dǎo)體工藝控制業(yè)務(wù)部總裁Ahmad Khan表示：“當(dāng)今的車(chē)輛搭載了數(shù)以千計(jì)的半導(dǎo)體芯片，用于感知周?chē)h(huán)境、做出駕駛決策和控制動(dòng)作，所以芯片絕不能發(fā)生故障。而這一點(diǎn)，也使得芯片制造商在芯片集成到汽車(chē)前就開(kāi)始尋求新的策略，以發(fā)現(xiàn)和減少晶圓廠(chǎng)中與可靠性相關(guān)的缺陷。我們的新產(chǎn)品專(zhuān)為生產(chǎn)汽車(chē)芯片的晶圓廠(chǎng)量身定制，可在源頭偵測(cè)潛在的可靠性缺陷，并為在線(xiàn)篩選提供創(chuàng)新的解決方案。上述舉措均將協(xié)助晶圓廠(chǎng)生產(chǎn)出質(zhì)量?jī)?yōu)良和高度可靠的芯片，并最大限度地提高產(chǎn)量?！?/p>

這三種新檢測(cè)設(shè)備形成了一個(gè)互補(bǔ)的缺陷發(fā)現(xiàn)、監(jiān)控和控制解決方案，適用于汽車(chē)行業(yè)中較大設(shè)計(jì)節(jié)點(diǎn)的芯片制造。Surfscan SP A2/A3無(wú)圖案晶圓檢測(cè)儀結(jié)合了DUV光學(xué)和先進(jìn)算法，可使靈敏度和速度足以識(shí)別并消除會(huì)導(dǎo)致汽車(chē)芯片可靠性問(wèn)題的工藝缺陷，并確保工藝設(shè)備以最佳的性能運(yùn)行。在研發(fā)和生產(chǎn)爬坡階段，C205圖案化晶圓檢測(cè)儀利用寬帶照明和NanoPoint?技術(shù)，對(duì)關(guān)鍵缺陷高度靈敏，可加快新工藝和設(shè)備的優(yōu)化。在量產(chǎn)階段，8935圖案化晶圓檢測(cè)儀采用全新光學(xué)技術(shù)和DefectWise? AI解決方案，能以低干擾率捕獲各種關(guān)鍵缺陷，并快速準(zhǔn)確地識(shí)別可能影響最終芯片質(zhì)量的工藝偏差。

I-PAT是一種創(chuàng)新的在線(xiàn)篩選解決方案，可在KLA檢測(cè)和數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)上運(yùn)行。首先，I-PAT使用高速8系列檢測(cè)器（包括8935或Puma?激光掃描檢測(cè)器）在關(guān)鍵工藝步驟收集的所有晶圓數(shù)據(jù)中提取缺陷特征。然后，I-PAT利用SPOT? 生產(chǎn)平臺(tái)上的定制機(jī)器學(xué)習(xí)算法和Klarity?缺陷管理系統(tǒng)的統(tǒng)計(jì)分析功能識(shí)別異常缺陷，從而從供應(yīng)鏈中移除有風(fēng)險(xiǎn)的芯片。

除了開(kāi)發(fā)為汽車(chē)芯片制造量身定制的新產(chǎn)品外，KLA還不斷與汽車(chē)行業(yè)密切合作。從KLA加入為汽車(chē)行業(yè)的電子元件制定認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)的汽車(chē)電子委員會(huì)（AEC），到在密歇根州安阿伯市成立第二總部，KLA致力于確保汽車(chē)行業(yè)達(dá)到嚴(yán)格的電子質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。

KLA電子、封裝和組件（EPC）業(yè)務(wù)部執(zhí)行副總裁Oreste Donzella表示：“此次發(fā)布的新產(chǎn)品擴(kuò)充了我們?nèi)轿坏漠a(chǎn)品組合，包括檢測(cè)、量測(cè)、數(shù)據(jù)分析和工藝系統(tǒng)，為汽車(chē)電子生態(tài)系統(tǒng)提供多方位的支持。每一款產(chǎn)品都具有關(guān)鍵作用，確保構(gòu)成汽車(chē)電子產(chǎn)品的芯片、組件、印刷電路板和顯示器具有高可靠性和性能，并能實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量?！?/p>

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